
BSLtech 반도체 솔루션
반도체 산업에서 전문성을 개발하려면 높은 ISO 등급(ISO 5 이상)의 클린룸이나 층류 캐비닛이 필요한 경우가 많습니다. 자외선에 민감한 공정을 다루고 계신가요? BSL은 이러한 경우에도 적합한 클린룸을 제공합니다. 클린룸은 고품질 벽 마감재와 UV 필터가 장착된 조명을 갖추고 있습니다. 필터 시스템에는 정전기 방지(ESD) 소재와 정전기 방지 바를 사용하여 공기 중 정전기를 중화합니다.
가스 제거가 필요하지 않은 경우, BSL은 가스가 발생하지 않는 소재(PU)로 구성된 클린룸을 제공합니다. 이 기술은 항공우주 산업에서 유래되었습니다.
반도체 산업의 일반적인 프로세스:
● 기판 및 실리콘 웨이퍼 보호
● EUV 연구
● 마스크 정렬기
● 진공코팅, 박막증착
● 인쇄 응용 프로그램
● 광학
프런트엔드 및 백엔드 프로세스