클린룸 표준화

미국에서는 2001년 11월 말까지 연방 표준 209E(FED-STD-209E)를 사용하여 클린룸 요구 사항을 정의했습니다. 2001년 11월 29일에 이러한 표준은 ISO 사양 14644-1의 출판으로 대체되었습니다. 일반적으로 제조 또는 과학 연구에 사용되는 클린룸은 먼지, 공기 중 미생물, 에어로졸 입자 및 화학 증기와 같은 오염 물질이 낮은 수준으로 통제된 환경입니다. 정확하게 말하자면, 클린룸은 지정된 입자 크기에서 입방미터당 입자 수로 지정되는 제어된 오염 수준을 갖습니다. 일반적인 도시 환경에서 실외 공기에는 직경이 0.5미크론 이상인 입방미터당 3,500만 개의 입자가 포함되어 있으며 이는 클린룸 표준의 가장 낮은 수준인 ISO 9 클린룸에 해당합니다. 클린룸은 공기의 청정도에 따라 분류됩니다. 미국 연방 표준 209(A~D)에서는 1 입방피트의 공기에서 0.5mm 이상의 입자 수를 측정하고 이 수를 클린룸 분류에 사용합니다. 이 미터법 명명법은 최신 209E 버전의 표준에서도 허용됩니다. 중국은 연방 표준 209E를 사용합니다. 새로운 표준은 국제표준화기구(International Standards Organization)의 TC 209입니다. 두 표준 모두 실험실 공기 중의 입자 수를 기준으로 청정실을 분류합니다. 클린룸 분류 표준 FS 209E 및 ISO 14644-1은 클린룸 또는 클린 영역의 청결도 수준을 분류하기 위해 특정 입자 수 측정 및 계산을 요구합니다. 영국에서는 영국 표준 5295를 사용하여 클린룸을 분류합니다. 이 표준은 곧 BS EN ISO 14644-1로 대체될 예정입니다. 클린룸은 공기 부피당 허용되는 입자의 수와 크기에 따라 분류됩니다. "클래스 100" 또는 "클래스 1000"과 같은 큰 숫자는 FED_STD209E를 나타내며, 이는 공기 입방피트당 허용되는 0.5mm 이상의 입자 수를 나타냅니다.