클린룸 풍속 요구 사항 및 공기 교환

충분한 환기량은 다양한 청결 요구 사항에 따라 실내 오염된 공기를 희석하고 제거하는 것입니다.클린룸순 높이가 높을수록 환기 횟수를 적절히 늘려야 합니다. 그중 100만 개의 클린룸 환기량은 고효율 정화 시스템[7]에 따라 고려되며, 나머지는 고효율 정화 시스템에 따라 고려됩니다. 10만 개의 클린룸용 HEPA 필터를 기계실 중앙 또는 시스템 끝단에 배치할 경우 환기 횟수를 10~20% 정도 적절하게 늘릴 수 있습니다.

위에 권장된 환기량 값에 대해 저자는 단방향 환기구의 실내 구역을 통과하는 풍속이유동 클린룸낮고, 난류 클린룸은 더 완전한 안전 계수를 가진 권장 값입니다. 수직 단방향 흐름 ≥0.25m/s, 수평 단방향 흐름 ≥0.35m/s, 빈 상태 또는 정적 감지에서 청결도는 요구 사항을 충족할 수 있지만 오염 방지 능력이 부족하여 실내가 작동 상태로 전환되면 청결도가 요구 사항을 충족하지 못할 수 있습니다. 이러한 예는 개별적인 것이 아닙니다. 동시에 중국의 환풍기 시리즈는 아직 팬의 정화 시스템에 더 적합하지 않습니다. 일반 설계자는 종종 시스템의 공기 저항을 정확하게 계산하지 않거나 선택된 팬이 더 유리한 작동점의 특성 곡선에 있는지 여부를 주의하지 않아 시스템이 곧 작동하게 되면 풍량이나 풍속이 설계 값에 도달할 수 없습니다. 미국 연방 표준(FS209A~B)은 1987년 10월 27일 이전에 다음과 같이 규정되었습니다. 클린룸 구역을 통과하는 단방향 클린룸의 기류 속도는 일반적으로 90ft/min(0.45m/s)로 유지되며, 전체 클린룸에 간섭이 없는 조건에서 속도 균일도는 ±20% 이내입니다. 기류 속도가 크게 감소하면 자가 세척 시간과 작업 위치 사이에 오염 효과가 발생할 가능성이 커집니다(1987년 10월 FS209C 발표 이후 먼지 농도 이외의 모든 매개변수는 명시되지 않았습니다).

이를 위해 저자는 현재 국내 단방향 유속 설계값을 적절히 높이는 것이 적절하다고 생각하며, 실제 프로젝트에서 우리 부서가 그렇게 한다면 효과가 더 좋을 것이라고 생각합니다. 난류형 클린룸은 안전율이 더 높은 권장값이지만, 많은 설계자들은 특정 설계 시 10만 대의 클린룸 환기량을 20~25회/h, 1만 대의 클린룸 환기량을 30~40회/h, 1천 대의 클린룸 환기량을 60~70회/h로 증가시키는 것에 대해 여전히 확신하지 못하고 있습니다. 이는 장비 용량 증가와 초기 투자 증가뿐만 아니라 향후 유지 관리 비용까지 증가시키기 때문에 반드시 필요한 것은 아닙니다. 중국의 공기 청정 기술 대책[7]을 준비할 때 100개 이상의 국내 청정실을 조사하고 측정했으며, 여전히 많은 청정실을 동적 조건에서 테스트했으며 그 결과 100,000등급 ≥10회/h, 10,000등급 ≥20회/h, 1000등급 ≥50회/h의 환기량이 요구 사항을 충족할 수 있는 것으로 나타났습니다.미국 연방 표준(FS2O9A~B)은 비단일 방향 흐름 청정실(100,000등급, 10,000등급), 실내 높이 8~12ft(2.44~3.66m)은 일반적으로 3분에 한 번(즉, 20회/h) 이상 전체 실내를 고려해야 한다고 규정하고 있습니다.따라서 설계 사양[6]의 조항은 더 큰 풍요 계수를 고려했으며 설계자는 권장되는 환기량 값에 따라 안전하게 선택할 수 있습니다.