클린룸 풍속 요구 사항 및 공기 변화

충분한 환기량은 다양한 청결 요구 사항에 따라 실내 오염된 공기를 희석하고 제거하는 것입니다.클린룸순 높이가 높을수록 공기 교환 횟수가 적절하게 증가합니다. 그 중 100만개 클린룸의 환기량은 고효율 정화 시스템에 따라 고려되고[7], 나머지는 고효율 정화 시스템에 따라 고려된다. 100,000급 클린룸 HEPA 필터를 기계실 중앙이나 시스템 말단에 배치할 경우 공기 교환 횟수를 10~20% 정도 적절하게 늘릴 수 있습니다.

위 권장 환기량 값에 대해 저자는 단방향의 실내 구간을 통과하는 풍속이흐름 클린 룸낮으며 난류 클린룸은 안전 계수가 더 높은 권장 값입니다. 수직 단방향 흐름 ≥0.25m/s, 수평 단방향 흐름 ≥0.35m/s, 빈 상태 또는 정적 청정도 감지에서는 요구 사항을 충족할 수 있지만 실내가 작업 상태로 들어가면 오염 방지 능력이 떨어집니다. , 청결도가 요구 사항을 충족하지 못할 수 있으며 이러한 예는 개별적이지 않습니다. 동시에, 중국의 환기기 시리즈는 아직 팬의 정화 시스템에 더 적합하지 않으며 일반 설계자는 시스템의 공기 저항을 정확하게 계산하지 않거나 선택한 팬이 해당 영역에 있는지 여부에 주의를 기울이지 않는 경우가 많습니다. 보다 유리한 작동점의 특성 곡선으로 인해 시스템이 곧 가동될 경우 풍량이나 풍속이 설계 값에 도달할 수 없습니다. 미국 연방 표준(FS209A~B)은 1987년 10월 27일 이전에 다음과 같이 규정되었습니다. 클린룸 구간을 통과하는 단방향 클린룸의 공기 흐름 속도는 일반적으로 9Oft/min(0.45m/s)으로 유지되며 다음 조건에서 사용됩니다. 방 전체에 간섭이 없으면 속도 균일성은 ±20% 이내입니다. 기류 속도가 크게 감소하면 자가 청소 시간과 작업 위치 사이에 오염 효과가 발생할 가능성이 높아집니다(1987년 10월 FS209C가 발표된 이후에는 먼지 농도 이외의 모든 매개변수가 지정되지 않음).

이를 위해 저자는 현재 단방향 유속의 국내 설계값을 적절하게 높이는 것이 적절하다고 생각하며, 실제 프로젝트에서는 우리 단위가 그렇게 함으로써 효과가 더 좋다. 난류형 클린룸은 안전율이 더 높은 권장 값이지만, 많은 설계자들은 특정 설계를 수행할 때 100,000 레벨 클린룸 환기량이 20~25회/h로 증가하고 10,000 레벨이 30~40회/h로 증가하고, 1000레벨은 60~70회/h로 증가하여 장비 용량 증가뿐만 아니라 초기 투자 비용도 증가합니다. 또한 향후 유지 관리 비용도 증가하므로 반드시 그렇게 할 필요는 없습니다. 중국의 공기청정 기술조치[7]를 준비할 때 국내 100개 이상의 클린룸을 조사 및 측정했으며 여전히 많은 클린룸을 동적 조건에서 테스트했으며 결과에 따르면 환기량 100,000등급 ≥10회/h, 10,000등급 ≥20회/h, 1000등급 ≥50회/h가 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 미국 연방 표준(FS2O9A~B)에서는 비단방향 흐름 클린룸(100,000클래스, 10,000클래스), 룸 높이 8~l2ft(2.44~3.66m)을 규정하고 있으며, 일반적으로 3분에 한 번씩 전체 룸을 고려합니다( 즉, 20회/h)입니다. 따라서 설계사양[6]에서는 더 큰 유입계수를 고려하였으며, 설계자는 권장 환기량 값에 따라 안전하게 선택할 수 있다.