반도체(FAB) 클린룸의 상대습도 목표값

반도체(FAB) 클린룸의 상대 습도 목표 값은 약 30~50%이며, 리소그래피 영역에서와 같이 ±1%의 좁은 오차 범위를 허용하며 원자외선 처리(DUV)에서는 훨씬 더 적습니다. 영역 – 다른 곳에서는 ±5%로 완화될 수 있습니다.
상대 습도에는 다음을 포함하여 클린룸의 전반적인 성능을 저하시킬 수 있는 다양한 요인이 있기 때문입니다.
1. 세균 증식;
2. 직원을 위한 실내 온도 편안함 범위;
3. 정전기 전하가 나타납니다.
4. 금속 부식;
5. 수증기 응축;
6. 리소그래피의 열화;
7. 수분 흡수.

박테리아 및 기타 생물학적 오염물질(곰팡이, 바이러스, 곰팡이, 진드기)은 상대 습도가 60% 이상인 환경에서 번성할 수 있습니다.일부 박테리아 군집은 30% 이상의 상대 습도에서 자랄 수 있습니다.회사는 습도를 40~60% 범위로 조절해야 박테리아와 호흡기 감염의 영향을 최소화할 수 있다고 믿습니다.

40%~60% 범위의 상대습도 역시 인간이 편안하게 느낄 수 있는 적당한 범위입니다.습도가 너무 높으면 답답함을 느낄 수 있고, 습도가 30% 미만이면 피부가 건조해지고 갈라지고 호흡이 불편해지고 정서적으로 불쾌감을 느낄 수 있습니다.

높은 습도는 실제로 클린룸 표면의 정전기 전하 축적을 줄여줍니다. 이는 원하는 결과입니다.낮은 습도는 전하 축적과 잠재적으로 손상을 주는 정전기 방전 소스에 이상적입니다.상대습도가 50%를 초과하면 정전기가 빠르게 소멸되기 시작하지만, 상대습도가 30% 미만이면 절연체나 접지되지 않은 표면에서 오랫동안 지속될 수 있습니다.

35%에서 40% 사이의 상대 습도는 만족스러운 절충안으로 사용될 수 있으며, 반도체 클린룸은 일반적으로 정전기 전하의 축적을 제한하기 위해 추가 제어 장치를 사용합니다.

부식 과정을 포함한 많은 화학 반응의 속도는 상대 습도가 증가함에 따라 증가합니다.클린룸 주변의 공기에 노출되는 모든 표면은 빠르게 진행됩니다.